微机电与微制造创新研究实验室
微机电与微制造创新研究实验室立于2016年1月，主要由王俊尧博士发起并组建，该实验室面向生物医学工程与化工产业，以微纳系统与微纳制造为研究特色，以实现器件与系统的微型化和多功能化集成制造为研究目标，形成了微纳加工与装配、微纳仪器与装备、微纳流控与操纵等研究方向。
台阶仪
接触角测量仪
倒置荧光显微镜
磁控溅射仪
干法刻蚀机
光刻机
科研条件：
研究所占地面积约200m2，拥有价值近三百万的微纳制造与检测相关设备，包括光刻机、溅射仪、干法刻蚀机、表面改性机、微纳力学性能测试系统、倒置荧光显微镜、台阶仪、接触角测量仪、去离子水机等，能开展微纳流控芯片的理论模拟、设计制造和应用实验等方面的研究。此外，针对热塑性材料热压成型和微纳流控芯片对准的需求，本团队自主研发了用于热塑性材料微纳结构成型的热压键合机和微纳流控芯片操纵系统。
图1 微纳流控芯片操纵系统
图2 热压键合机
负责人简介：
王俊尧，博士，副教授，硕士研究生导师，首批东电学者，微机电与微制造创新实验研究所所长。长期致力于为微纳制造与微纳流体的研究，熟练掌握微纳制造相关理论、方法和工艺。近年来，主持国家自然基金项目1项、省级项目2项、企业横向1项，在国际高水平SCI期刊上发表学术论文10余篇，申请发明专利30项，受邀成为国际多个SCI期刊审稿人。
科研项目：
(1)王俊尧.微纳尺度电驱动富集稳定性机理与控制方法研究, 国家自然科学基金青年项目, 2015.
(2)王俊尧. 电场作用下微纳尺度富集效应机理研究, 吉林省科技发展计划项目优秀青年人才基金项目, 2017.
(3)王俊尧. 微纳尺度电驱动富集“控制阀效应”机理与控制方法研究, 吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目, 2016.
代表论文：
[1] Junyao Wang, Chong Liu, Zheng Xu. 2016, Electrokinetic ion transport in confined micro-nanochannel. Electrophoresis, 37(5-6): 769-774. (SCI, IF=3.024)
[2] Jun-yao Wang, Zheng Xu. Electrokinetic ion breakdown in a nanochannel. AIP Advances, 2016, 6, 075025-1-5. (SCI, IF=1.444)
[3] Jun-yao Wang, Chong Liu, Zheng Xu, Yong-kui Li, Yun-liang Liu. Ion-enrichment and ion-depletion of nanochannels based on electrochemical potential in a micro-nanofluidic chip. Microsystem Technologies, 2014, 20(1): 35-39 (SCI, IF=1.071, EI).
[4] Jun-yao Wang, Zheng Xu, Yong-kui Li, Chong Liu, Jun-shan Liu, Li Chen, Li-qun Du, Li-ding Wang. Nanopore density effect of polyacrylamide gel plug on electrokinetic ion enrichment in a micro-nanofluidic chip. Applied Physics Letters, 2013, 103(4): 043103-1-5 (SCI, IF=3.794, EI).
[5] Jun-yao Wang, Zheng Xu, Chong Liu, Jun-shan Liu, Yun-liang Liu, Li-ding Wang, Wen-dong Yang. Effects of electrophoresis and electroosmotic flow on ion enrichment in micro-nanofluidic preconcentrator. Microsystem Technologies, 2012, 18(1): 97-102 (SCI, IF=1.071, EI).
[6]Wang J , Han L L , Sun Y M , et al. Alignment System and Application for a Micro/Nanofluidic Chip[J]. Micromachines, 2018, 9(12).
[7]Wang J , Han L L , Xu Z . Nano-electrokinetic ion concentration in the ion enrichment zone[J]. Microsystem Technologies, 2018, 25:711-717.
[8]Wang J Y , Hou Q . Effect of nanochannel geometry on electrokinetic ion transport in a micro-nanofluidic system[J]. AIP Advances, 2019, 9(12):125213.
[9]Wang, Junyao; Hou, Qi; Liu, Huan*; Sun, Qi; Yuan, Hengyi; A Rapid Bonding Method for Fabricating Mixing Microfluidic Chip Based on MicromachiningTechnology , Journal of Nanomaterials, 2020, 2020: 0-8630725.
[10]Liu H , Wang J* , Xia C . An Oscillation-Based Bandpass Filter With a Structure of Two Magnetically Coupled Orthogonal Cantilevers[J]. IEEE Transactions on Magnetics, 2020, PP(99):1-1.
现有人员6人，其中副教授4人，讲师2人。近年来承担了国家自然科学基金项目1项、吉林省科技计划项目1项、吉林省教育厅科学研究规划项目2项、企业横向1项。研究所总面积130m2，拥有光刻机、台阶仪、干法刻蚀机、磁控溅射机等十余台高端科研设备，总资产300余万元。研究所紧密跟踪学科前沿，形成了微纳加工与装配、微纳流控系统、微纳操纵系统等多个特色研究方向，是我校机械工程学科开展高水平科学研究和高水平人才培养的重要基地。
